[发明专利]粒子束装置在审
| 申请号： | 202110284683.8 | 申请日： | 2021-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN113498246A | 公开（公告）日： | 2021-10-12 |
| 发明（设计）人： | 户内豊 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | H05H7/04 | 分类号： | H05H7/04;H05H7/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 刘杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种能够实现小型化及低成本化的粒子束装置。粒子束装置(1)具备偏转电磁体(15)，该偏转电磁体(15)能够导入来自离子种类互不相同的第1离子源(11)及第2离子源(12)的各离子束(B1、B2)，且能够通过切换磁场强度将离子束(B1、B2)中的一个选择性地射出至射束传输系统(19)，偏转电磁体(15)具有：偏转功能，使应该射出至射束传输系统(19)的离子束向射束传输系统(19)偏转；及分析功能，减少混合在该离子束中的不同种类的射束朝射束传输系统(19)的射出。 | ||
| 搜索关键词： | 粒子束 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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