[发明专利]确定三维信息有效
| 申请号： | 202110287046.6 | 申请日： | 2021-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN113405493B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | A·黎凡特;R·比斯特里泽 | 申请（专利权）人： | 应用材料以色列公司 |
| 主分类号： | G01B15/04 | 分类号： | G01B15/04 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;张鑫 |
| 地址： | 以色列瑞*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了用于确定基板的结构元件的三维(3D)信息的方法、非暂时性计算机可读介质和系统。 | ||
| 搜索关键词： | 确定 三维 信息 | ||
【主权项】：
暂无信息
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