[发明专利]高能脉冲电弧蒸发源在审
| 申请号： | 202110296512.7 | 申请日： | 2021-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN113186499A | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 王叔晖;沈平;孟庆学 | 申请（专利权）人： | 法德（浙江）机械科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人： | 郭曼 |
| 地址： | 313100 浙江省湖*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了高能脉冲电弧蒸发源，涉及金属工件加工领域，包括箱体，箱体的前部活动铰接有门体，箱体与闭合状态的门体构成六棱柱结构，且箱体的内侧壁和门体的背面安装有若干电弧离子镀装置；转盘包括外盘和放置盘，外盘呈圆盘状并活动套接在箱体的顶部，外盘的上表面开设有圆形凹槽，圆形凹槽的内底壁中心处转动连接有主动齿轮，主动齿轮的底面固定连接有贯穿外盘底壁的转动管，转动管与外盘同为转动连接，圆形凹槽的内周侧面固定连接有齿圈。本发明设置的放置盘可周期性的上下往复运动、自转和公转，待镀膜工件可以均匀接收蒸发的分子形态材料，使工件表面所形成的薄膜尽量均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 高能 脉冲 电弧 蒸发 | ||
【主权项】：
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