[发明专利]原位合成法制备4H碳化硅电子材料的工艺有效

专利信息
申请号: 202110296851.5 申请日: 2021-03-19
公开(公告)号: CN112960673B 公开(公告)日: 2023-07-04
发明(设计)人: 杨东平;杨洋;王力 申请(专利权)人: 河南醒狮供应链管理有限公司
主分类号: C01B32/97 分类号: C01B32/97
代理公司: 郑州异开专利事务所(普通合伙) 41114 代理人: 刘一晓;王霞
地址: 450001 河南省郑州市*** 国省代码: 河南;41
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明公开了一种原位合成法制备4H碳化硅电子材料的工艺,包括①选取化学纯度≥99.9%,粒度≤5μm的4H碳化硅高温提纯,经研磨得到碳化硅种料;选取化学纯度≥99.99%,粒度≤1μm的碳粉,以及化学纯度≥99.99%,粒度≤1μm的二氧化硅为原料②按照碳粉、二氧化硅、碳化硅种料=(40‑43):(51‑56):(3‑5)的重量比进行混配③在氮气保护条件下,使混配料进行高温反应,得到4H碳化硅粗品④粉碎、筛分,得到化学纯度≥99.99%,中值粒径为0‑1mm的碳化硅筛分料⑤将筛分料送入高温蒸汽气流粉碎分级系统进行粉碎、筛分,得到化学纯度≥99.99%,球形度≥0.98,中值粒径为200‑250nm的碳化硅成品,其中碳化硅成品中的结构晶型为4H‑SiC含量≥99.99%。本发明投资低收益大,绿色环保,能够实现工业化生产。
搜索关键词: 原位 成法 制备 碳化硅 电子 材料 工艺
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河南醒狮供应链管理有限公司,未经河南醒狮供应链管理有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202110296851.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code