[发明专利]一种采用磁流体密封处理的用于真空镀膜的敲击装置有效
| 申请号： | 202110297842.8 | 申请日： | 2021-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN113073296B | 公开（公告）日： | 2023-01-20 |
| 发明（设计）人： | 张心凤;夏正卫;刘洋;陈玉梅;范洪跃 | 申请（专利权）人： | 安徽纯源镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56 |
| 代理公司： | 合肥九道和专利代理事务所(特殊普通合伙) 34154 | 代理人： | 胡发丁 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种采用磁流体密封处理的用于真空镀膜的敲击装置，包括敲击杆，敲击杆的一端装配有敲击碳头，敲击杆的另一端装配在转动杆的一端，敲击杆和转动杆呈夹角状布置，转动杆转动安装，转动杆上设置有磁流体组件，转动杆与调节其进行转动的转动调节组件相连接。上述方案中，将敲击装置的传统油封结构更换为磁流体密封结构，可以解决敲击杆部位漏气的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 流体 密封 处理 用于 真空镀膜 敲击 装置 | ||
【主权项】：
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