[发明专利]应用于硅、氮、磷、硫、卤族元素有机气体在线分析、自动校准、质控及评价的系统有效
| 申请号： | 202110299083.9 | 申请日： | 2021-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN112964806B | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 请求不公布姓名 | 申请（专利权）人： | 北京高斯匹克技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/02 | 分类号： | G01N30/02;G01N30/86;G01N30/78 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 102200 北京市昌平区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 应用于硅、氮、磷、硫、卤族元素有机气体在线分析、自动校准、质控及评价的系统，包括分析仪、校准仪、质控系统，分析仪具有有机氮磷硫检测器和有机硅卤族检测器两种检测器及相应检测器评价系统，通过校准仪和分析仪的协同，实现全自动化在线分析、自动校准，通过校准仪、分析仪、质控系统协同，实现热脱附系统自动条件优化，通过包括分析仪在内的检测器评价系统和校准仪的协同，自动优化检测器条件。 | ||
| 搜索关键词： | 应用于 卤族 元素 有机 气体 在线 分析 自动 校准 评价 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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