[发明专利]一种蓝膜芯片顶出装置在审
申请号: | 202110307301.9 | 申请日: | 2021-03-23 |
公开(公告)号: | CN112885766A | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 夏阳 | 申请(专利权)人: | 成都储翰科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 610200 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种蓝膜芯片顶出装置,属于芯片组装技术领域,包括安装底板,安装底板上安装有可上下移动的真空罩升降板,真空罩升降板上设有真空罩,真空罩顶部设有顶针,安装底板上还安装有带动真空罩升降板进行上下移动的真空罩升降丝杆电机,安装底板上还安装有带动顶针进行上下移动的顶针升降丝杆电机,所述顶针插入在顶针升降杆上,顶针升降杆安装在顶杆安装板上,顶针升降丝杆电机的丝杆贯穿顶杆安装板后通过螺母连接。本发明中采用真空罩吸取蓝膜下拉带动芯片向下移动接触顶针来顶出芯片,真空罩吸取芯片周围蓝膜下拉来使芯片与蓝膜脱离,消除了压碎芯片的风险,同时也消除顶针顶出芯片的瞬间芯片吸嘴滞后顶针带来过冲损坏芯片的风险。 | ||
搜索关键词: | 一种 芯片 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于成都储翰科技股份有限公司,未经成都储翰科技股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202110307301.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种生物安全型全自动加盖与样本信息管理装置
- 下一篇:一种自动装卸钻杆装置
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造