[发明专利]一种蚀刻清洗装置有效
| 申请号： | 202110313392.7 | 申请日： | 2021-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN113073325B | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 梁存业;黄世果;龙泽吉;郑世飞 | 申请（专利权）人： | 重庆臻宝实业有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;C23F1/02 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 覃毅 |
| 地址： | 400050 重庆市九*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开一种蚀刻清洗装置，包括机架和蚀刻机构；所述蚀刻机构安装在所述机架上，蚀刻机构用于对电极进行蚀刻；箱体安装在机架上，托架布置在箱体内，支架布置在托架上，主动辊的两端均与支架转动连接，第一支撑辊的两端均与支架连接，第二支撑辊的两端均与支架连接；主动辊上设有多个环形放置槽，第一支撑辊上设有多个第一环形支撑槽，第二支撑辊上设有多个第二环形支撑槽；环形放置槽、第一环形支撑槽和第二环形支撑槽呈一一对应；驱动机构安装在箱体内，驱动机构与主动辊的一端连接，驱动机构用于驱动主动辊转动。本发明有效地提高了蚀刻速率，提高了生产效率，同时提高了电极工件的中心小孔和边缘小孔蚀刻的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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