[发明专利]蚀刻工艺中的补酸量的确定方法及装置在审
| 申请号： | 202110316840.9 | 申请日： | 2021-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN113073326A | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 吴金臻;郑浩旋 | 申请（专利权）人： | 重庆惠科金渝光电科技有限公司;惠科股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/16 | 分类号： | C23F1/16;C23F1/08;G01N31/00 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 张志江 |
| 地址： | 400000 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开一种蚀刻工艺中的补酸量的确定方法及装置，涉及蚀刻技术领域，所述蚀刻工艺中的补酸量的确定方法包括以下步骤：根据待蚀刻产品的待蚀刻涂层的厚度及蚀刻面积，计算待蚀刻部分的量；根据所述待蚀刻部分的量，计算酸的使用量；根据所述酸的使用量、待蚀刻产品的传送速度及待蚀刻产品在蚀刻槽中的停留时间，计算单位时间内酸的补给量。本发明提出的蚀刻工艺中的补酸量的确定方法，通过计算得到单位时间内酸的补给量，不依赖酸浓度分析仪，补酸量的确定更加准确，异常发生率低、稳定性高。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 工艺 中的 补酸量 确定 方法 装置 | ||
【主权项】：
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