[发明专利]一种面板缺陷检测设备及面板缺陷检测方法有效

专利信息
申请号: 202110316947.3 申请日: 2021-03-19
公开(公告)号: CN113176278B 公开(公告)日: 2022-07-22
发明(设计)人: 王绍凯;黄运;蒋荷洁;谭久彬 申请(专利权)人: 哈工大机器人(中山)无人装备与人工智能研究院
主分类号: G01N21/95 分类号: G01N21/95;G01N21/01
代理公司: 北京隆源天恒知识产权代理有限公司 11473 代理人: 段守富
地址: 528400 广东省中山市翠亨新区*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供了一种面板缺陷检测设备及面板缺陷检测方法,涉及面板缺陷检测技术领域,该设备包括承载机构、龙门、初扫组件和复扫组件,所述龙门横跨设于所述承载机构上并与所述承载机构具有一定间隙,所述初扫组件和所述复扫组件分别设于同一个所述龙门上。通过将初扫组件和复扫组件设于同一个龙门上,从而使初扫组件与复扫组件之间的距离缩小,进而可降低待检测板面板的运动行程,从而降低了单个面板检测所用的时间,提高面板缺陷扫描的效率;另外,由于初扫组件和复扫组件设于同一个龙门上,因此,统一了初扫基准面与复扫基准面,消除了因基准面不一致产生的转换误差,提高了整机精度。
搜索关键词: 一种 面板 缺陷 检测 设备 方法
【主权项】:
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