[发明专利]一种面板缺陷检测设备及面板缺陷检测方法有效
申请号: | 202110316947.3 | 申请日: | 2021-03-19 |
公开(公告)号: | CN113176278B | 公开(公告)日: | 2022-07-22 |
发明(设计)人: | 王绍凯;黄运;蒋荷洁;谭久彬 | 申请(专利权)人: | 哈工大机器人(中山)无人装备与人工智能研究院 |
主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95;G01N21/01 |
代理公司: | 北京隆源天恒知识产权代理有限公司 11473 | 代理人: | 段守富 |
地址: | 528400 广东省中山市翠亨新区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供了一种面板缺陷检测设备及面板缺陷检测方法,涉及面板缺陷检测技术领域,该设备包括承载机构、龙门、初扫组件和复扫组件,所述龙门横跨设于所述承载机构上并与所述承载机构具有一定间隙,所述初扫组件和所述复扫组件分别设于同一个所述龙门上。通过将初扫组件和复扫组件设于同一个龙门上,从而使初扫组件与复扫组件之间的距离缩小,进而可降低待检测板面板的运动行程,从而降低了单个面板检测所用的时间,提高面板缺陷扫描的效率;另外,由于初扫组件和复扫组件设于同一个龙门上,因此,统一了初扫基准面与复扫基准面,消除了因基准面不一致产生的转换误差,提高了整机精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 面板 缺陷 检测 设备 方法 | ||
【主权项】:
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