[发明专利]一种用于基片的烘烤设备在审
| 申请号： | 202110319413.6 | 申请日： | 2021-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN112947003A | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 冀然 | 申请（专利权）人： | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/00 |
| 代理公司： | 山东重诺律师事务所 37228 | 代理人： | 王鹏里 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市城阳区城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提出一种用于基片的烘烤设备，包括：外壳，其包括具有容纳室的座体，以及与座体铰接的盖体，盖体上设置有通风腔以及通风口，盖体翻转后与座体配合形成工作腔，工作腔与通风腔连通；加热盘，其连接于容纳室的口部，加热盘的顶面上设置有真空槽组，与真空槽组连接有真空发生装置，以在真空槽组内产生负压用于将基片固定在加热盘顶面上；排气装置，其设置于容纳室内，且具有进气口以及排气口，进气口与通风腔以及工作腔连通，排气口位于座体的侧部；支撑装置，设置于加热盘下方，且具有可伸缩的顶针，顶针可穿过加热盘将基片向上顶起。本发明使得基片不仅便于取放，且烘烤均匀，避免了基片的翘曲问题和烘烤时气体的泄漏以及基片的污染的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 烘烤 设备 | ||
【主权项】：
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