[发明专利]承载装置及承载系统

摘要

本申请公开了一种承载装置及承载系统，承载装置包括承载本体、吸附件以及驱动装置，承载本体的承载面一侧设有多个容置槽，容置槽的底部设有通孔，驱动装置贯穿通孔设置，吸附件的一端设有吸附面，吸附面与待测件吸附连接，吸附件的另一端收容于容置槽内，并与驱动装置连接；吸附件开设有吸附孔，吸附孔贯穿吸附件，并与真空气路连通，吸附孔用于对晶圆进行吸附；驱动装置用于带动吸附件沿承载面的法线方向往复移动。承载装置通过分布在承载本体上不同位置的吸附件对不同区域的待测件进行吸附，从而使待测件的不同区域均能够通过真空吸附的方式进行压平，从而提高待测件的检测精度。