[发明专利]一种沉积液相分离二维材料的方法、薄膜及应用有效
申请号: | 202110322090.6 | 申请日: | 2021-03-25 |
公开(公告)号: | CN113140653B | 公开(公告)日: | 2023-04-07 |
发明(设计)人: | 胡伟达;付晓;苗金水;张蕾;徐志昊;左文彬;郝春慧;李唐鑫;王津金 | 申请(专利权)人: | 国科大杭州高等研究院 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/109;B82Y40/00;B82Y30/00 |
代理公司: | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人: | 邓世凤 |
地址: | 315731 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: |
本发明提供一种沉积液相分离二维材料的方法、薄膜及应用,采用了超声雾化将液相分离的二维材料沉积成薄膜,从而得到不需要严格遵循晶格匹配和对称性的异质结,并且大幅度降低了二维薄膜量产成本。通过该沉积方式,可以得到厚度在16‑400nm的薄膜,可广泛用于不同衬底上,比如氧化硅衬底、透明ITO衬底或者柔性聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)衬底,本发明所沉积的范德华异质结在透明柔性衬底上显示出了整流效应(MoS |
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搜索关键词: | 一种 沉积 分离 二维 材料 方法 薄膜 应用 | ||
【主权项】:
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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