[发明专利]一种用于等离子去胶机机台的密封圈在审
申请号: | 202110330213.0 | 申请日: | 2021-03-29 |
公开(公告)号: | CN113123710A | 公开(公告)日: | 2021-07-16 |
发明(设计)人: | 唐在峰;昂开渠;许进 | 申请(专利权)人: | 上海华力集成电路制造有限公司 |
主分类号: | E06B7/16 | 分类号: | E06B7/16 |
代理公司: | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人: | 戴广志 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种用于等离子去胶机机台的密封圈,T型密封圈;用于镶嵌T型密封圈的槽位;T型密封圈的顶部为T型的宽部,底部为T型的窄部;T型密封圈的宽部嵌于槽位的底部;与槽位开口部、T型密封圈底部紧贴的磁门。本发明的T型密封圈,其接触磁门的密封圈面相对于密封圈槽面积小。当打开磁门时,密封圈受到大气压力被紧紧压在密封圈槽位内。可以避免密封圈拉出的风险,没有产品因为密封失效而破片。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 等离子 去胶机 机台 密封圈 | ||
【主权项】:
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