[发明专利]一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构在审
| 申请号： | 202110333475.2 | 申请日： | 2021-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN113061977A | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 孙健;李伟凡;王遵义;刘琨;孙晨光;王彦君 | 申请（专利权）人： | 中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/32;C30B29/06 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 薛萌萌 |
| 地址： | 214200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构，包括上端与单晶硅连接的内轴组件、夹持单晶硅下端的夹持组件，所述内轴组件外侧设置夹持器大盘，所述夹持器大盘下侧固接下轴，所述夹持器大盘中部设置内轴组件穿过的过孔，所述下轴中部设置内轴组件穿过的通孔，所述夹持器大盘上表面固设夹持组件。本发明所述的内轴组件和下轴配合封闭夹持器大盘依次向下移动，减少单晶炸裂流熔时损伤内轴组件结构，同时通过夹持器大盘封闭盖住下轴上端更好的保护下轴内壁。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 区熔单晶炉内轴 夹持 结构 | ||
【主权项】：
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