[发明专利]阵列基板及其制备方法

摘要

本申请实施例公开了一种阵列基板及其制备方法，在阵列基板中，第一导电层设置在薄膜晶体管结构层上，第一导电层包括第一电极；感光二极管设置在第一电极上；第一绝缘层覆盖所述感光二极管，第一绝缘层上开设有第一开孔，第一开孔裸露出感光二极管；第二导电层包括保护部，保护部设置在第一开孔内且与感光二极管相连；第二绝缘层覆盖第一绝缘层，第二绝缘层上开设有第二开孔和第三开孔，第二开孔裸露出保护部，第二开孔的深度小于第三开孔的深度；第三导电层设置在第二绝缘层上，第三导电层包括第二电极，第二电极通过第二开孔连接于保护部。本申请在感光二极管上形成一保护部，避免在曝光和蚀刻第三开孔的过程，降低感光二极管的性能。