[发明专利]驱动设备和蒸镀系统有效
| 申请号： | 202110341010.1 | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN113088915B | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 张志强;白玉庭;张永强;张超 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人： | 吴大建;金淼 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种驱动设备和蒸镀系统，包括主驱动电机、传动装置、调节驱动电机和控制装置；所述传动装置包括主传动机构、调节传动机构、第一抱紧机构、第二抱紧机构和传动基台，所述控制装置用于在监测到目标对象为倾斜状态时，控制所述第一抱紧机构断开、控制所述第二抱紧机构吸合、控制所述主驱动电机停止运行、控制所述调节驱动电机运行，使得所述调节驱动电机通过所述调节传动机构带动所述传动基台移动，以对所述目标对象进行水平调节，实现了在蒸镀腔室外部直接对需要调整基板基台水平度，无需在真空腔室降温后进行排气处理之后再使用水平尺测量后进行调整。采用本发明的技术方案，能够降低材料的损耗，提高产品的产能。 | ||
| 搜索关键词： | 驱动 设备 系统 | ||
【主权项】：
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