[发明专利]大尺寸、无中间缺陷的ITO平面靶素坯生产方法有效
| 申请号： | 202110345069.8 | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN112917643B | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 王玉军;杨建新;刘洪福;刘志猛 | 申请（专利权）人： | 河北惟新科技有限公司 |
| 主分类号： | B28B1/26 | 分类号： | B28B1/26;B28B7/00;B28B7/34;B28B7/46;B28B7/42;B28B11/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 050000 河北省石家庄市高新区长*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种大尺寸、无中间缺陷的ITO平面靶素坯生产方法，具体包括以下步骤：制备ITO浆料；将制备的浆料加入到多孔树脂模具中，制备ITO平面靶坯体；在纯氧气氛中，将ITO平面靶坯体放入烧结炉中进行烧结，得到ITO平面靶素坯。本发明通过在坯体制备阶段采用多孔树脂模具以及在烧结工序中采用多层烧结进气方法，不仅可以生产出致密度高、合格率高的优质ITO平面靶，而且还大大降低了能耗，节约了生产成本，提高了生产效率，为低成本ITO平面靶的国产化提供了可行性方案。 | ||
| 搜索关键词： | 尺寸 中间 缺陷 ito 平面 靶素坯 生产 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河北惟新科技有限公司，未经河北惟新科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110345069.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种节水增氧的灌溉方法
- 下一篇：一种施工过程中替换方案生成与验证方法及系统
