[发明专利]掩模支撑模板及其制造方法、掩模制造方法及框架一体型掩模的制造方法在审
| 申请号： | 202110346346.7 | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN113529081A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 李炳一;金奉辰;李裕进 | 申请（专利权）人： | 悟勞茂材料公司 |
| 主分类号： | C23F1/02 | 分类号： | C23F1/02;C23F4/00;C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及掩模支撑模板及其制造方法、掩模制造方法及框架一体型掩模的制造方法。根据本发明的掩模支撑模板的制造方法，包括以下步骤：(a)准备一面形成有第一绝缘部的掩模金属膜；(b)通过在模板上夹设第一绝缘部使掩模金属膜粘合到模板的上部面；(c)通过在掩模金属膜上形成掩模图案来制造掩模。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑 模板 及其 制造 方法 框架 体型 | ||
【主权项】：
暂无信息
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