[发明专利]一种织构化氮化硅陶瓷基板及其切割方法和应用有效
| 申请号： | 202110348819.7 | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN113085020B | 公开（公告）日： | 2023-03-31 |
| 发明（设计）人： | 伍尚华;李林;伍海东;张凤林 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | B28D1/06 | 分类号： | B28D1/06;H01L23/15 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 蒋学超 |
| 地址： | 510000 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明实施例公开了一种织构化氮化硅陶瓷基板及其切割方法和应用，涉及氮化硅陶瓷基板制备技术领域。所述方法应用于织构化氮化硅陶瓷中，所述方法包括：通过电镀金刚石线锯沿着与所述织构化氮化硅陶瓷的织构化方向垂直的方向将所述织构化氮化硅陶瓷切割为织构化氮化硅陶瓷基板。本发明实施例中，通过电镀金刚石线锯沿着与所述织构化氮化硅陶瓷的织构化方向垂直的方向将所述织构化氮化硅陶瓷切割为织构化氮化硅陶瓷基板，由此得到的织构化氮化硅陶瓷基板的厚度方向与其织构化方向一致，从而具备了更好的导热性能，其热导率超过100m |
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| 搜索关键词： | 一种 织构化 氮化 陶瓷 及其 切割 方法 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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