[发明专利]一种检测设备及检测方法在审
| 申请号： | 202110352735.0 | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN113075232A | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;杨乐;张嵩 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李带娣 |
| 地址： | 518110 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种检测设备及检测方法，该检测设备包括检测组件和驱动组件；本发明中设置有至少两排检测单元，所有检测单元沿第一方向和第二方向排列形成矩阵结构，当检测工作时，驱动组件能够驱动待测物或检测组件至少一者沿第一方向或第二方向至少一个方向运动这样可以利用各检测单元对待测物表面的不同区域进行扫描，进而实现整个表面的扫描，即本发明中待检测物表面的扫描是通过多个检测单元共同完成的，与仅设置一个光路组件对检测面进行扫描相比，本发明所提供的检测设备通过至少四个检测单元对待测物表面不同区域进行同时扫描，大大提高了对待测表面的检测效率，并且该方式成像质量也相对比较高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 设备 方法 | ||
【主权项】：
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