[发明专利]曝光对准的补偿方法及补偿系统有效
| 申请号： | 202110362010.X | 申请日： | 2021-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN113093485B | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 张胜安;赵磊 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 史治法 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种曝光对准的补偿方法及补偿系统，包括：获取对准图形的原始数据；对所述原始数据进行一阶处理，以得到一阶求导数据；在所述曝光对准存在偏差时，基于所述原始数据及所述一阶求导数据得到补偿值；基于所述补偿值对曝光对准进行补偿。本发明的曝光对准的补偿方法通过对原始数据进行一阶处理得到一阶求导数据，再基于原始数据和一阶求导数据得到补偿值对曝光对准进行补偿，补偿精度较高，可以优化曝光对准的精确度。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 对准 补偿 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长鑫存储技术有限公司，未经长鑫存储技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110362010.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：音频处理方法及装置
- 下一篇：一种高光效甘蔗选育方法
