[发明专利]一种电子探针薄片样品台及其使用方法有效
| 申请号： | 202110364810.5 | 申请日： | 2021-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN113075244B | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 刘艳荣;刘民武;樊五杰 | 申请（专利权）人： | 长安大学 |
| 主分类号： | G01N23/2204 | 分类号： | G01N23/2204;G01N23/225 |
| 代理公司： | 西安创知专利事务所 61213 | 代理人： | 卫苏晶 |
| 地址： | 710064 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电子探针薄片样品台及其使用方法，包括滑轨座、竖向板、底座和样品台，样品台的底部设置有连接部件和滑移部件，连接部件包括套筒和连接轴，样品台能绕连接轴旋转，套筒上设置有两个对称布设的限位块，底座中设置有与限位块配合的限位槽，连接轴能带动套筒靠近或者远离限位槽，滑移部件包括纵板和两个横板；该方法包括以下步骤：一、样品台的逆时针翻转；二、电子探针薄片的安装；三、样品台的顺时针翻转复位。本发明通过样品台的翻转以使电子探针薄片在安装到样品台的底部时测试面朝下，避免电子探针薄片的测试面受到测试人员接触而被污染，且能有效地适应不同尺寸电子探针薄片的放置，适应范围广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子探针 薄片 样品 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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