[发明专利]阵列基板及其制作方法、显示面板

摘要

本申请公开了一种阵列基板及其制作方法、显示面板，阵列基板包括第一区域和第二区域，其中，第二区域位于第一区域的两侧，阵列基板的制作方法包括以下步骤：提供一器件板，器件板至少包括依次层叠设置的第一非金属层、第二非金属层和金属层；利用含有有机酸的铜酸蚀刻液对与第一区域对应的金属层和第二非金属层进行处理，除去与第一区域对应的金属层以及除去与第一区域对应的第二非金属层，使得与第一区域对应的第一非金属层暴露；利用干法蚀刻工艺对与第一区域对应的第一非金属层进行处理，以除去与第一区域对应的第一非金属层的一部分，对应于第一区域的第一非金属层和对应于第二区域的第一非金属层和第二非金属层形成半导体层。