[发明专利]一种硅片用舟多向传输机

摘要

本发明涉及一种硅片用舟多向传输机。本发明包括多个输送模块，所述输送模块包括机架，所述机架包括多层框架结构，所述框架结构中设有横纵向传输转换机构、用于将横纵向传输转换机构上升或下降的顶升机构；所述横纵向传输转换机构包括横向传输单元、纵向传输单元以及用于驱动横向传输单元上升或下降的顶升组件；所述多个输送模块在横向通过横向传输单元衔接。本发明通过设置多个输送模块，在输送模块中设置横纵向传输转换机构并对应设置顶升机构，且多层中设置传输出入口，可对应地对接工艺机不同层进出舟口，模块化的设计可对接不同数量与多种并排布置的工艺机以及自动化设备，大大提高了舟切换、传输的效率。