[发明专利]一种大幅降低大尺寸砂浆线成本的砂浆循环工艺在审

专利信息
申请号: 202110373690.5 申请日: 2021-04-07
公开(公告)号: CN113183339A 公开(公告)日: 2021-07-30
发明(设计)人: 周骁航;黄春峰;吴伟 申请(专利权)人: 中环领先半导体材料有限公司
主分类号: B28D5/00 分类号: B28D5/00;B28D5/04
代理公司: 北京卓特专利代理事务所(普通合伙) 11572 代理人: 段宇
地址: 214200 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种大幅降低大尺寸砂浆线成本的砂浆循环工艺,其工艺方法包括以下步骤:S1、首先启动AP17#隔膜泵从废砂浆缓冲罐内抽取一定量的废砂浆至T1#废砂浆调和罐,开启AP11#离心泵抽取S2#水箱内的压滤液,将调和后废砂浆通过AP3#隔膜泵抽取至T2#一次调和罐内,开启LXJ1离心机,开启AP12离心泵,从S2#水箱内抽取切割液至T3罐内,打开AP1蠕动泵进,打开YM7蒸汽调节阀,开始进行一次离心作业,分离后的碳化硅流转至T3#一级分离配浆罐,液通过管道落差自流到S1#水箱,通过离心机下方取样口取样检测砂浆粒径,T3#罐内砂浆调配至上限位后,开启AP4#隔膜泵将砂浆运送至T4#二次调和罐,直至T3罐到达下限位停止进料,开启T4罐体上方AP5隔膜泵,设定自循环。
搜索关键词: 一种 大幅 降低 尺寸 砂浆 成本 循环 工艺
【主权项】:
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