[发明专利]平面度测试仪在审
| 申请号： | 202110374469.1 | 申请日： | 2021-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN113091657A | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 黄焕钦;林榕;许华;郑广平 | 申请（专利权）人： | 广东九联科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 陈潇潇 |
| 地址： | 516007 广东省惠州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种平面度测试仪，包括：箱体，所述箱体的顶端安装有治具，所述治具用于放置测试物体，所述箱体的顶端端面开设有与所述治具位置相对的测试口；运动机构，运动机构，设置在所述箱体内，所述运动机构上安装有视觉定位单元和检测单元，所述运动机构用于调整视觉定位单元和检测单元的位置；所述检测单元用于通过所述测试口获取治具上的测试物体的表面平面度；所述视觉定位单元用于通过所述测试口获取治具上的测试物体的不同检测区域的图像。本发明具有操作方便快捷且测试效率和测试精度高，能够实现不同模组芯片的平面度测量的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 平面 测试仪 | ||
【主权项】：
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