[发明专利]一种元件边缘效应抑制工装和方法在审
| 申请号： | 202110376485.4 | 申请日： | 2021-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN113070777A | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 钟波;许乔;李海波;李洁;陈贤华;唐耿宇;周炼;邓文辉 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | B24B13/00 | 分类号： | B24B13/00;B24B13/005 |
| 代理公司： | 北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙) 11589 | 代理人： | 李康 |
| 地址： | 610000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明适用于元件加工技术领域，本发明提供了一种元件边缘效应抑制工装，通过在元件边缘增加过渡挡块，使加工时，加工工具可以完全移出元件的边缘以对其进行加工，从而使得加工工具可遍历元件整面各个位置，并且避免了元件边缘加工受力畸变，从而抑制元件边缘效应；在此基础上，本发明还提出了一种应用上述工装进行元件边缘效应抑制的方法，使用上述工装后，加工时，加工工具可以移出元件边缘，从而加工工具可遍历元件整面各个位置；同时，当加工工具完全移出元件的边缘后，加工工具开始提升，即减小加工工具与元件的接触深度，确保加工工具始终未与挡块边缘刮擦，从而避免了加工时过渡挡块边缘受压损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 元件 边缘 效应 抑制 工装 方法 | ||
【主权项】：
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