[发明专利]配向检测装置及其检测方法有效
| 申请号： | 202110382527.5 | 申请日： | 2021-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN113156673B | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 刘小成 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 远明 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种配向检测装置及其检测方法，其包括加热模组以及检测模组，加热膜组包括加热腔以及连接于加热腔的供热机构，以对加热腔加热，使得加热腔保持在预设温度范围内；检测模组设置于加热腔内，检测模组包括载台以及设置于载台上的检测机构，其中，载台用于承载待测基板，检测机构用于检测在预设温度范围内的待测基板配向的电压序列；本发明提供的配向检测装置测试得出的电压序列满足待测基板配向的要求，提高了待测基板配向的质量和良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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