[发明专利]伸缩电极反应装置与PECVD设备

摘要

本发明公开了一种伸缩电极反应装置与PECVD设备，伸缩电极反应装置包括反应管组件、电极组件与驱动组件，反应管组件包括管体与端盖，端盖连接于管体的后端；电极组件包括电极杆与电极头，电极杆连接于端盖，并能够相对端盖沿管体的轴向移动，电极头位于管体内，且与电极杆电连接；驱动组件包括动力件、第一弹性件与第一连接件，动力件连接于端盖，第一连接件连接于电极杆，第一弹性件连接于动力件的输出轴与第一连接件之间。上述伸缩电极反应装置中，当电极头与石墨舟发生接触后，随着动力件的进一步驱动，第一弹性件将发生弹性变形，使得电极头与石墨舟之间能够保持紧密的接触，保证接触的可靠性。