[发明专利]一种镀膜检测装置、镀膜设备在审
| 申请号： | 202110396683.7 | 申请日： | 2021-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN113106411A | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 徐天宇;贾克飞;黄秦霏;易平安;肖昂;刘洋;刘金彪;李哲 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京市铸成律师事务所 11313 | 代理人： | 郗名悦;闫茂娟 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供一种镀膜检测装置、镀膜设备。镀膜监测装置包括：安装架，至少用于设置位于检测位置的第一检测片和位于预处理位置的第二检测片；检测位置，被配置为使位于检测位置的第一检测片接收膜层材料沉积；预处理位置，被配置为使位于预处理位置的第二检测片接收预处理，以在第二检测片表面形成预设膜层；第一驱动机构，与安装架连接，用于驱动安装架运动，以将预处理后的第二检测片由预处理位置输送至检测位置。本公开的技术方案，可以消耗掉第二检测片的前期不稳定状态，当采用第二检测片来检测镀膜速率时，第二检测片性能稳定，不会出现温度速率的无规则波动，有利于对实际膜厚的控制，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 检测 装置 设备 | ||
【主权项】：
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