[发明专利]烘干设备和晶圆烘干方法在审
| 申请号： | 202110401958.1 | 申请日： | 2021-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN113063271A | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 左国军;成旭;谈丽文;陈雷;申斌;邱瑞 | 申请（专利权）人： | 创微微电子（常州）有限公司;常州捷佳创精密机械有限公司 |
| 主分类号： | F26B9/06 | 分类号： | F26B9/06;F26B21/00;F26B21/14 |
| 代理公司： | 北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 11343 | 代理人： | 尚志峰;汪海屏 |
| 地址： | 213133 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请属于晶圆干燥技术领域，提供烘干设备和晶圆烘干方法。烘干设备包括：烘干区，设有抽风腔和能够打开或封闭的烘干腔，烘干腔用于放置工件，抽风腔与烘干腔相互连通；气路安装区，与烘干腔通过管路连接，气路安装区用于为烘干腔输入加热氮气；主抽风管道，与烘干区连接，主抽风管道用于排出废气；框架，用于设置烘干区、气路安装区与主抽风管道。本申请通过框架实现了结构优化，提升了安装空间，更有利于操作，且可以防止外部厂务空气对内部晶圆的污染。通过向烘干腔充入加热氮气，能够减少现场操作人员以及设备的安全隐患，还降低了处理废气的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 烘干 设备 方法 | ||
【主权项】：
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