[发明专利]一种真空内电加热喷淋头结构有效
| 申请号： | 202110403470.2 | 申请日： | 2021-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN113249687B | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 刘春;谈太德 | 申请（专利权）人： | 拓荆科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C16/455 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 110179 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于真空镀膜设备技术领域，具体提供了一种真空内电加热喷淋头结构，包括喷淋顶板，所述的喷淋顶板内设有可供介质循环的通道；所述的喷淋顶板上设有喷淋气体入口；喷淋顶板与腔体外壳连接处设有一圈密封条；喷淋板，与喷淋顶板连接且具有凹进部，上设有多个喷淋通孔。加热环，设置在喷淋板与喷淋顶板连接处，设置方式包括嵌入设置在喷淋板内；阻热环，设置在加热环与喷淋顶板之间，与喷淋顶板连接。可实现真空腔体内对喷淋板的高温加热，通过结构优化调整热阻后喷淋板温度可达到300℃，同时减少通过喷淋顶板对外部的热损失，保障了其温度波动≤±5℃。同时保障外部大气侧空间温度符合生产规范。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 加热 喷淋 结构 | ||
【主权项】：
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