[发明专利]一种在线式快速抽真空的真空等离子机在审
申请号: | 202110410502.1 | 申请日: | 2021-04-16 |
公开(公告)号: | CN113118139A | 公开(公告)日: | 2021-07-16 |
发明(设计)人: | 林小兰;甘华烽;谢东华 | 申请(专利权)人: | 中山市普雷斯等离子科技有限公司 |
主分类号: | B08B7/00 | 分类号: | B08B7/00;B08B13/00 |
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地址: | 528400 广东省中山市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及等离子机结构技术领域,尤其公开了一种在线式快速抽真空的真空等离子机;包括外机架,所述外机架设有内腔;所述内腔中设有负压储存仓,和设置在负压储存仓下侧面的等离子真空仓;所述内腔中还设有真空泵装置,所述真空泵装置上连接有真空止回路管;所述真空止回路管连接有第一支路管和第二支路管;所述负压储存仓和真空止回路管通过所述第一支路管连通,所述等离子真空仓和真空止回路管通过所述第二支路管连通,且所述第一支路管和第二支路管连通;所述真空等离子机还包括移动台,所述移动台上设有传送带;所述传送带上还设置有工件台;本发明的真空等离子机可极大缩减抽真空时长,极大提高工作效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 在线 快速 真空 等离子 | ||
【主权项】:
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