[发明专利]一种PECVD一体炉

摘要

本发明涉及一种PECVD一体炉，所述PECVD一体炉包括：箱体和多个炉体，箱体具有容纳腔，所述容纳腔贯通所述箱体在第一方向上的两侧；及多个炉体叠置于所述容纳腔内，每一所述炉体具有炉腔以及连通所述炉腔的两个炉口，每一所述炉体的两个所述炉口分别位于所述炉体在所述第一方向上的两侧。本发明的PECVD一体炉可实现多个炉体通过箱体整合为一个PECVD一体炉，与现有技术一体成型的加热炉相比，既增加了炉腔的数量，又可以根据用户的实际生产情况，通过更改炉体的数量来整合成不同高度的PECVD一体炉，以适配不同高度的厂房。同时，PECVD一体炉既可以拆分成多个加热炉到现场安装以方便运输；也可以安装完成作为一个整体直接运输到现场以节省安装时间，加快安装进度。