[发明专利]一种回转式CVD碳材料表面均匀沉积装置在审
| 申请号： | 202110417858.8 | 申请日： | 2021-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN113104834A | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 李同权;汪炜;汪云龙 | 申请（专利权）人： | 苏州力碳新能源发展有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/05 | 分类号： | C01B32/05 |
| 代理公司： | 北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙) 11531 | 代理人： | 林杨 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种回转式CVD碳材料表面均匀沉积装置，包括控制箱，所述控制箱的一侧设置有输料箱，所述控制箱的上端定位连接有定位支脚，所述定位支脚的上端定位安装有分层式密封沉积箱与滑阀泵，所述分层式密封沉积箱的上端安装有加热箱。本发明所述的一种回转式CVD碳材料表面均匀沉积装置，设有回转式分层过滤装置、可拆式温控箱与分层式密封沉积箱，能够方便对料体中的杂质进行过滤清除，增加化学气相沉积的效果，输送更为快速，可以方便对加热温度进行控制，可以定位进行拆装更换，保证装置正常使用，燃烧更加稳定，还可以方便更好的进行沉积操作，采用多层，沉积效果好，密封性能优异，带来更好的使用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 回转 cvd 材料 表面 均匀 沉积 装置 | ||
【主权项】：
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