[发明专利]一种基于浮法镀膜联线系统在审
| 申请号： | 202110418364.1 | 申请日： | 2021-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN113277739A | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 董佳林 | 申请（专利权）人： | 信义节能玻璃（芜湖）有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/00 | 分类号： | C03C17/00;C03C17/22;C03B25/00;C03B18/02;C23C16/24;C23C16/46 |
| 代理公司： | 合肥铭辉知识产权代理事务所(普通合伙) 34212 | 代理人： | 张名列 |
| 地址： | 238300 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于浮法镀膜联线系统，位于漂浮在锡槽内的基体上方，包括气体运输模块、气体反应模块、废气排出模块，气体运输模块按照气体的移动方向依次包括通气设备、纯化器、流量调节装置、蒸发升华器、混合炉，气体反应模块按照气体的移动方向依次包括反应炉、真空泵，废气排出模块包括废气处理器；基体上方设置有沉积区，沉积区的温度范围为600℃~780℃；本发明限制了沉积区的温度区域，并给出了锡槽的基体温度区域分配，能通过提升沉积区的最高温度逼近能达到最佳控制位置的极限温度，提升沉积速率的同时使基体表面的固态粒子能更快更均匀更稳定地移动扩散，既能提升镀膜效率还能得到综合性能更好的镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 镀膜 系统 | ||
【主权项】：
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