[发明专利]极紫外光刻机物料传递及污染控制系统、方法有效
| 申请号： | 202110426520.9 | 申请日： | 2021-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN113311890B | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 王魁波;吴晓斌;罗艳;谢婉露;韩晓泉;沙鹏飞;李慧 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G05D27/02 | 分类号： | G05D27/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 王志红 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及光刻技术领域，具体涉及一种极紫外光刻机物料传递及污染控制系统，该极紫外光刻机中，大气腔的第一通气管上设置有第一调节阀，载片腔的第二通气管上设置有第二调节阀，传输腔的第三通气管上设置有第三调节阀，工艺腔的第四通气管上设置有第四调节阀，极紫外光刻机的控制器能够控制真空泵组、载片腔与大气腔之间的大气物料阀、传输腔与载片腔之间的第一真空物料阀以及工艺腔与传输腔之间的第二真空物料阀开启或关闭，同时控制第一调节阀、第二调节阀、第三调节阀和第四调节阀的开度，使大气腔、载片腔、传输腔和工艺腔内的污染性气体分压依次减小，在保证物料传输的同时，能够严格控制污染性气体从环境向工艺腔的传输。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外 光刻 物料 传递 污染 控制系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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