[发明专利]一种阵列基板制备方法、阵列基板及显示面板在审
| 申请号： | 202110429860.7 | 申请日： | 2021-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN113140577A | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 卓恩宗;都桂卿;朱虹玲;郑浩旋 | 申请（专利权）人： | 滁州惠科光电科技有限公司;惠科股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/12 | 分类号： | H01L27/12;H01L21/77;G02F1/1335 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 高星 |
| 地址： | 239000 安徽省滁*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及液晶显示的技术领域，提供了一种阵列基板制备方法、阵列基板及显示面板，其中阵列基板制备方法包括：在第一基板上设置第一金属层；在第一金属层上设置半导体层；在半导体层上设置第二金属层；在第二金属层上设置第一保护层；在第一保护层上设置色阻层；对色阻层进行等离子体处理；在色阻层上设置第二保护层；通过上述技术方案，在设置色阻层后，对色阻层进行离子体处理，有利于将色阻层存放于第一保护层上，避免气泡的产生；同时色阻层置于第一保护层和第二保护层之间，提高了色阻层的可靠性，因此可以减小色阻层的厚度，同样可以减小气泡的产生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阵列 制备 方法 显示 面板 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
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