[发明专利]匹配器输出功率调试方法及调试系统在审
| 申请号： | 202110436064.6 | 申请日： | 2021-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN113517169A | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 岳昕;钟晨玉;卫晶 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种匹配器输出功率调试方法及调试系统。该调试方法具体包括：在射频电源开启时，检测匹配器的输入端的输入功率值和匹配器的输出端的输出功率值；计算匹配器的实际效率值，实际效率值等于匹配器的输出功率值与输入功率值的比值；判断实际效率值是否在预设效率范围内，若否，则计算效率补偿值，效率补偿值等于预设效率值与实际效率值的比值，并根据效率补偿值调节匹配器的输入功率。本发明提供一种匹配器输出功率调试方法及调试系统能够通过进行较少的调试次数得到所需的输出功率，从而能够减少用于调试的资源消耗，并能够缩短调试时间。 | ||
| 搜索关键词： | 配器 输出功率 调试 方法 系统 | ||
【主权项】：
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