[发明专利]一种粘附性好的晶圆切割用保护膜及其制备方法有效
| 申请号： | 202110436930.1 | 申请日： | 2021-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN113105840B | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 柯跃虎;诸葛锋;宋亦健;曾庆明 | 申请（专利权）人： | 广东硕成科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C09J7/30 | 分类号： | C09J7/30;C09J7/24;C09J133/00;C09J11/04;C09J11/06 |
| 代理公司： | 上海微策知识产权代理事务所(普通合伙) 31333 | 代理人： | 汤俊明 |
| 地址： | 512000 广东省韶关市乳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种粘附性好的晶圆切割用保护膜，从上到下依次包括基材层，粘合层，剥离层，粘合层制备原料包括：改性聚丙烯酸树脂，增塑剂，耐高温助剂，引发剂。本发明所述的晶圆切割用保护膜在晶圆的切割步骤中能够显示优良的保持力，能够有效地抑制或防止晶圆表面的破坏，碎裂和弯曲，并且通过我们实验的改性，对实验条件的优化，增大了保护膜的拉伸粘结强度，提高了固化速度，缩短了固化时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 粘附 切割 保护膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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