[发明专利]一种修复高纯铝靶材表面缺陷的加工方法在审
| 申请号： | 202110437990.5 | 申请日： | 2021-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN113084235A | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;沈文华 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23C3/00 | 分类号： | B23C3/00;B23Q11/10 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种修复高纯铝靶材表面缺陷的加工方法，所述加工方法包括以下步骤：对高纯铝靶材表面依次进行粗加工以及精加工；所述精加工采用的刀具为金刚石刀片；所述精加工的次数为1～3次；所述加工方法采用金刚石刀具，并通过进一步控制加工过程中的参数，有效修复高纯铝靶材表面的缺陷，避免出现裂纹以及色泽不一样的现象，具有较好的工业应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 修复 高纯 铝靶材 表面 缺陷 加工 方法 | ||
【主权项】：
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