[发明专利]一种双旋转补偿器型Mueller矩阵椭偏仪的补偿器同步旋转结构有效
| 申请号： | 202110441719.9 | 申请日： | 2021-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN113188457B | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 张瑞;林聪;薛鹏;张钦圭;尚琰;徐跃;刘政杰 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01J4/00 |
| 代理公司： | 太原荣信德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14119 | 代理人： | 杨凯;连慧敏 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明属于补偿器同步旋转结构技术领域，具体涉及一种双旋转补偿器型Mueller矩阵椭偏仪的补偿器同步旋转结构，小同步齿轮、大同步齿轮与伺服电机轴伸端同轴固定连接，小同步齿轮通过第一齿形皮带与第一锥齿轮同步齿轮啮合，第一锥齿轮同步齿轮与第一直齿锥齿轮主动轮同轴固定连接，第一直齿锥齿轮主动轮与第一直齿锥齿轮从动轮啮合，大同步齿轮通过第二齿形皮带与第二锥齿轮同步齿轮连接，第二锥齿轮同步齿轮与第二直齿锥齿轮主动轮同轴固定连接，第二直齿锥齿轮主动轮与第二直齿锥齿轮从动轮啮合。本发明通过一个伺服电机带动起偏臂和检偏臂上的两个相位补偿器以不同的速度比同步旋转，并且单伺服电机的控制方式和最终信号的触发采集也更为简洁。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 补偿 mueller 矩阵 椭偏仪 同步 结构 | ||
【主权项】：
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