[发明专利]一种对位模块及真空蒸镀装置在审
| 申请号： | 202110453590.3 | 申请日： | 2021-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN113136545A | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 茆胜 | 申请（专利权）人： | 睿馨（珠海）投资发展有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/54;C23C14/24 |
| 代理公司： | 上海洞鉴知识产权代理事务所(普通合伙) 31346 | 代理人： | 刘少伟 |
| 地址： | 519000 广东省珠海市横琴新*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种对位模块及真空蒸镀装置，其中，对位模块，用以实现掩膜版上对位孔与硅基板上对位标志的对位配合，包括：置于所述对位孔正下方的镜面；以及置于所述镜面外侧的图像采集装置。有益效果是：将原本位于腔室内部的对位摄像头改到腔室外部，通过腔室内的镜面将对位画面反射到摄像头实现对位，可以避免摄像头镜头被蒸发的OLED材料污染；避免摄像头被加热源长时间烘烤的问题，大大延长了摄像头的使用寿命；便于维修或更换，可以让设备快速恢复工艺状态，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 对位 模块 真空 装置 | ||
【主权项】：
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