[发明专利]一种掩膜导向板、掩膜系统及蒸镀掩膜方法在审
| 申请号： | 202110455139.5 | 申请日： | 2021-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN113174561A | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 茆胜 | 申请（专利权）人： | 睿馨（珠海）投资发展有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 上海洞鉴知识产权代理事务所(普通合伙) 31346 | 代理人： | 刘少伟 |
| 地址： | 519000 广东省珠海市横琴新*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种掩膜导向板、掩膜系统及蒸镀掩膜方法，掩膜导向板包括：导向板本体；若干个导向孔，贯穿于所述导向板本体，并允许流入角度为±θ的蒸发分子通过。有益效果是：在OLED显示器件制作图案化子像素时，掩膜导向板能够避免发生因有机发光材料蒸汽分子流向其他非指定区域而造成边界模糊、甚至混色的问题，从而提高OLED显示装置的显示效果，因此制备了具有高精度的图案化效果的高分辨率OLED显示器件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 导向 系统 蒸镀掩膜 方法 | ||
【主权项】：
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