[发明专利]化学机械研磨方法以及化学机械研磨设备有效
| 申请号： | 202110457937.1 | 申请日： | 2021-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN113084692B | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 翁杰 | 申请（专利权）人： | 上海芯物科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/34;B24B49/16;H01L21/306 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201800 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种化学机械研磨方法以及化学机械研磨设备。该化学机械研磨方法包括：将n个待研磨件的研磨表面划分为U个研磨区域，其中，研磨区域的数量和化学机械研磨设备中研磨头的数量相等，且一一对应设置，n的取值包括大于或等于1的整数，U的取值包括大于或等于1的整数；根据第m个待研磨件中每个研磨区域的实际研磨厚度，利用化学机械研磨设备对第m个待研磨件进行化学机械研磨，其中，m的取值大于或等于1，且小于或等于n。本发明实施例提供的技术方提高了至少一个待研磨件的化学机械研磨方法的精确度。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械 研磨 方法 以及 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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