[发明专利]一种干膜抗蚀剂组合物在审
| 申请号： | 202110460509.4 | 申请日： | 2021-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN113176706A | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 袁丽;朱高华;吴佳丰;李伟杰;钱伟强 | 申请（专利权）人： | 浙江福斯特新材料研究院有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027 |
| 代理公司： | 浙江千克知识产权代理有限公司 33246 | 代理人： | 裴金华 |
| 地址： | 311305 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明属于印刷电路板制造技术领域，具体公开了一种干膜抗蚀剂组合物，包括以下重量份的原料：碱溶性树脂45~65份，光聚合单体35~50份，光引发剂0.1~5.0份，添加剂1.0‑5.0份；所述光聚合单体包括极性基团改性、EO/PO修饰的（甲基）丙烯酸酯化合物，所述极性基团为磷酸酯类、异氰尿酸类、1,3,5‑三嗪类、嘧啶类或者喹唑啉类基团。本发明在光聚合单体中引入的极性基团改性、EO/PO修饰的（甲基）丙烯酸酯化合物，与干膜抗蚀剂体系相容性好，能有效提高干膜抗蚀剂附着力，并且不会对干膜抗蚀剂的显影性和柔韧性造成不利影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 干膜抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
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