[发明专利]efuse熔丝的版图结构在审
申请号: | 202110468485.7 | 申请日: | 2021-04-28 |
公开(公告)号: | CN113013140A | 公开(公告)日: | 2021-06-22 |
发明(设计)人: | 张黎;晏颖 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | H01L23/525 | 分类号: | H01L23/525;H01L27/02 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 周耀君 |
地址: | 201315*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了一种efuse熔丝的版图结构,包括:包括分别位于两层上下叠放的金属层中的:两个焊盘,在第一方向上的投影部分重叠;两个通孔,分别位于两层所述金属层中,且一个所述通孔与另一个所述通孔在第一方向上的位置相同;两个熔丝本体,沿第二方向设置,且一个所述熔丝本体的两端分别与一个所述焊盘及一个所述通孔对应连接;一个导电连接件,沿所述第一方向设置并将两个所述通孔连接;其中,两个所述熔丝本体与所述导电连接件构成串联结构,所述串联结构在平行于第二方向上的平面上的投影呈U型。本发明缩小了efuse熔丝的版图面积。 | ||
搜索关键词: | efuse 版图 结构 | ||
【主权项】:
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