[发明专利]光致抗蚀剂组合物在审
| 申请号： | 202110468929.7 | 申请日： | 2013-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN113391518A | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 河村麻贵;中西润次 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/039;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李新红 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光致抗蚀剂组合物，其包含：树脂，所述树脂显示通过酸的作用在碱性水溶液中的溶解度增加；酸生成剂；增塑剂；和溶剂，所述溶剂的量为所述光致抗蚀剂组合物的总量的40至75质量％。 | ||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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