[发明专利]一种ITO残靶回收料制备ITO蒸发料的方法有效
| 申请号： | 202110469072.0 | 申请日： | 2021-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN113233871B | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 余芳;文崇斌;朱刘;童培云 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/622;C04B35/645;C23C14/08;C23C14/24 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;魏微 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种ITO残靶回收料制备ITO蒸发料的方法，包括以下步骤：(1)将ITO残靶经过预处理，得预处理后的ITO残靶；(2)将所述预处理后的ITO残靶破碎，过筛，得破碎好的ITO粉末；(3)将所述破碎好的ITO粉末装入模具中，然后置于热压炉内，在50～100MPa下进行预压；(4)预压结束后，热压炉内抽真空到＜10Pa后，升温至600～1200℃，并保温50～80min，在保温的同时升压至100～200MPa保持30～50min，冷却，即得所述ITO蒸发料。本发明所述方法通过调节制备工艺中热压的条件，可以制备不同密度的ITO蒸发料，节约了回收费用，充分利用了In材料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ito 回收 制备 蒸发 方法 | ||
【主权项】：
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